Магнетронное распыление — это метод нанесения тонких пленок, основанный на катодном распылении материала мишени в скрещенных электрическом и магнитном полях в среде рабочего газа (аргона) при пониженном давлении. ООО «ИнтерНаноТехнологии» применяет данную технологию для задач, требующих высоких скоростей осаждения и отличной адгезии покрытий.
Особенностью нашей магнетронной технологии является наличие ВЧ-исполнения магнетронов и источников плазмы для формирования оксидных пленок из диэлектрических материалов. Это позволяет эффективно наносить покрытия на основе SiO₂, Al₂O₃ и других диэлектриков с высокой степенью однородности. Реализация процесса осуществляется на специализированной вакуумной установке «AOC» и «IzoMag».
Преимущества магнетронной технологии:
Метод оптимален для решения широкого круга задач, где сочетание производительности и качества является критическим фактором, включая нанесение металлических и диэлектрических покрытий на оптические компоненты среднего и большого формата.
Оставьте заявку и наши специалисты с радостью помогут ответить на любые ваши вопросы!