Технология нанесения прозрачного токопроводящего покрытия ITO

ООО «ИнтерНаноТехнологии» выполняет нанесение прозрачных токопроводящих покрытий на основе оксида индия-олова (Indium Tin Oxide, ITO). Данный материал сочетает высокую электропроводность с оптической прозрачностью в видимом и ближнем ИК-диапазонах, что делает его востребованным в производстве нагревательных элементов, электрооптических устройств и тепловизионной техники.

В отличие от электронно-лучевого испарения, которое часто приводит к нестабильности параметров поверхностного сопротивления и низкой воспроизводимости результатов, мы применяем метод постоянного тока (DC) магнетронного распыления. Данный метод позволяет получать покрытия с равномерной толщиной и стабильными электрофизическими характеристиками по всей площади подложки.

Ключевой особенностью нашей технологии является высокотемпературный нагрев подложек в процессе нанесения. Нагрев до температур 250–350°C способствует формированию поликристаллической структуры покрытия, что принципиально влияет на конечные свойства пленки.

Высокотемпературный процесс обеспечивает:

• Низкое поверхностное сопротивление (до 7–10 Ом/кв) без дополнительного отжига;
• Формирование плотной, однородной структуры с высокой адгезией к подложке;
• Стабильность параметров при эксплуатации в условиях повышенной влажности и перепадов температур;
• Сохранение свойств при циклических нагрузках.

Покрытия ITO, нанесенные по нашей технологии, демонстрируют пропускание более 90% в видимой области спектра в сочетании с низким удельным сопротивлением. Применение высокотемпературного процесса позволяет исключить деградацию свойств, характерную для пленок, осажденных методами электронно-лучевого испарения или при низких температурах.